微齒輪軸的微細電火花加工
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- 摘 要 ：采用微細 電火花銑削 與微細電火花 線 切 割 組 合 加 工 復(fù) 雜 微 小 零 件 。 以 帶 軸 的 微 小 齒 輪 為 例 ，在分析其 結(jié)構(gòu)特點及 微細電加工特性的基礎(chǔ)上 ，規(guī) 劃 了 微 小 齒 輪 軸 的 組 合 電 加 工 工 藝 流 程 ，分 析 了 組 合 加 工 中 的 精 度 和 效 率 ，實現(xiàn)了節(jié)圓直徑為 ３５０μｍ 的微小齒輪軸的制造 。
關(guān) 鍵 詞 ：微 機 電 系 統(tǒng) ；微細電火花銑削加工 ；微細電火花線切割加工
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