高真空自動排氣臺系統(tǒng)
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- 高真空自動排氣臺系統(tǒng)概述
NSC-001自動排氣臺系統(tǒng)控制器,是為北京納諾帕技術(shù)中心研制的高真空自動排氣臺而設(shè)計制造的真空系統(tǒng)控制單元。通過使用OMRON的CPM1A型PLC可編程序控制器,對高真空排氣臺的真空排氣系統(tǒng)及加熱溫度控制進(jìn)行手動、自動的操作控制。
操作前的準(zhǔn)備工作
依次閉合真空控制單元、管道加熱單元、烘箱加熱單元、電磁鐵-燈控制單元等電控單元的供電斷路器及各系統(tǒng)的電源開關(guān),保證各部分可以正常工作。
依次檢查壓縮空氣、N2氣、O2氣、H2氣等氣體的壓力及供給是否正常。保證各路氣體的正常供給狀態(tài)。
按下系統(tǒng)控制單元的電源開關(guān),使真空系統(tǒng)上電處于工作狀態(tài)。按照時間控制器的使用說明書,對時間控制器根據(jù)工藝要求進(jìn)行自動控制過程中時間參數(shù)的設(shè)定。
參照溫控表SR1的使用說明書,設(shè)置好真空系統(tǒng)管路加熱的溫度設(shè)定值。
根據(jù)工藝要求,設(shè)定好程控FP93溫控表的四個溫度段的溫度參數(shù)值。
根據(jù)工藝要求,參照真空計使用說明書,依次設(shè)定好 G1-1.2×10-1Torr、 G2-1.0×10-2Torr、G3-1.0×10-6Torr、G4-1.0×10-7Torr、 G5五個真空系統(tǒng)控制點(diǎn)的真空度設(shè)定參數(shù)值。
按下真空系統(tǒng)控制單元左下角的電源按鍵開關(guān),開關(guān)燈點(diǎn)亮。系統(tǒng)上電工作。
工作方式分為手動和自動兩種方式:
手動工作方式...