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電子真空泵
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電子真空泵是用采用壓電材料作動力裝置(完全拋棄電動機(jī)驅(qū)動模式),從控制到驅(qū)動徹底實現(xiàn)電子化,以電子集成系統(tǒng)完全控制氣體的交換與傳輸,從而實現(xiàn)氣體傳輸?shù)目烧{(diào)性、精準(zhǔn)性。...
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